1. 분류스캐닝 전자 현미경
주사 전자 현미경은 다양한 전자 생성 방식에 따라 열 전자 방출 유형 및 전계 방출 유형으로 나눌 수 있습니다. 열 전자 방출 유형에 사용되는 필라멘트는 주로 텅스텐 필라멘트 전자 현미경입니다. 필드 배출 유형
뜨거운 전계 방출과 냉장 필드 방출의 구별.
2. 분류투과 전자 현미경
투과 전자 현미경은 전자 생성의 다양한 방법에 따라 열 전자 방출 유형 및 전계 방출 유형으로 나눌 수 있습니다. 열 배출에 사용되는 필라멘트에는 주로 텅스텐 필라멘트 및 란타늄 육각형 필라멘트가 포함됩니다. 전계 방출에는 두 가지 유형이 있습니다 : 열 전장 방출 및 냉장 방출.
3. 주사 전자 현미경과 투과 전자 현미경의 유사성과 차이
이 두 가지는 샘플에 대해 유사한 요구 사항을 가지고 있습니다 : 오일 오염으로부터 가능한 한 무료로, 가능한 한 건조하고, 외부 치수는 샘플 챔버의 크기 요구 사항을 충족합니다.
차이점은 다음과 같습니다.
(1) 샘플 준비시 : TEM 전자의 침투 능력은 매우 약합니다. 변속기 전자 현미경은 종종 수백 킬로 볼트의 고 에너지 전자 빔을 사용하지만, 샘플의 연삭 또는 이온 얇아 지거나 미세 나노 스케일 두께로 슬라이싱해야합니다. 이는 가장 기본적인 요구 사항입니다. SEM에는 샘플 준비가 필요하지 않으며 직접 관찰을 허용합니다. 대부분의 비공식 재료는 전도성 필름 (예 : 금 코팅)의 생산이 필요합니다.
(2) 이미징에서 : SEM 이미징 중에 전자 빔은 샘플을 관통하지 않고 표면을 스캔합니다. TEM 이미징 동안, 전자 빔은 샘플을 관통한다. SEM의 공간 분해능은 일반적으로 XY-3-6NM 사이입니다.
TEM의 공간 해상도는 일반적으로 0.1-0.5nm에 도달 할 수 있습니다.
4. TEM 테스트를 수행 할 때 샘플의 두께 요구 사항은 얼마입니까?
TEM 샘플의 두께는 바람직하게는 100nm보다 작아야한다. 너무 두껍다면 전자 빔이 쉽게 전송되지 않아 이미지가 불분명하고 이미징이 불량합니다.
5. TEM 테스트를 수행 할 때 샘플의 요구 사항은 무엇입니까?
-샘플은 일반적으로 건조해야합니다. 샘플이 용액 인 경우 특정 기판 (유리와 같은)에 떨어 뜨려 건조시킨 다음 탄소를 뿌려야합니다. 샘플 자체가 전도성이면 탄소를 분사 할 필요가 없습니다.
6. 수용액에서 나노 입자에서 TEM을 수행하는 방법은 무엇입니까?
TEM 샘플은 높은 진공 조건 하에서 테스트되어야하는 반면, 수용액의 나노 입자는 직접 측정 할 수 없습니다. 일반적으로 마이크로 그리드 또는 구리 메쉬를 사용하여 샘플을 제거하고 샘플 프리 추출기에 넣습니다. 건조 후, 시험을 위해 전자 현미경에 넣을 수 있습니다. 샘플 크기가 작고 몇 나노 미터 만 있으면 다공성 탄소 필름을 사용하여 샘플을 떠올리십시오.
7. 고해상도 샘플의 두께 요구 사항
고해상도 TEM 이미지를 촬영할 때는 20nm 미만의 샘플 두께를 제어하는 것이 가장 좋습니다. 더 얇은 샘플은 전자 빔 산란을 감소시켜 이미지 해상도를 향상시킬 수 있습니다. 직경이 20nm 미만인 분말의 경우, 탄소지지 필름 또는 작은 기공 마이크로 그리드에서 직접 제거하고 관찰 할 수 있습니다. 입자 직경이 20nm보다 큰 경우 먼저 그것을 포함시킨 다음 이온 박사 기술을 사용하여 샘플을 관찰에 적합한 두께로 얇게하는 것이 가장 좋습니다.
8. 분말 샘플을 위해 TEM을 만드는 방법?
분말 샘플을 준비하는 열쇠는 우수한지지 필름을 갖고 중간 정도의 농도로 분말을 골고루 분산시키는 것입니다. 지지 막이 완전히 건조 된 후, 전자 빔 조사 하에서지지 막의 파열을 피하기 위해 관찰을 위해 전자 현미경에 넣어야한다.
① 얇은지지 필름을 구리 메쉬에 사전에 부착하십시오.
pspe 샘플의 특성에 따라 합리적인 분산제를 선택하십시오.
③ 초음파를 통해 분말을 균등하게 분산시켜 서스펜션을 형성하고;
drop 또는 스쿠프 방법을 사용하여 구리 메쉬에 분말 용액을 놓고 건조시킵니다.
powder 분말 샘플이 구리 메쉬에 골고루 분포되어 있고 오염 물질이 없도록하십시오.
eash 쉽게 떨어지는 분말이 없도록 귀 세척 공으로 구리 메쉬를 부드럽게 날려 버립니다.
9. 비전도 또는 전도성이 좋지 않은 샘플에 금을 뿌린 이유는 무엇입니까?
SEM 이미징은 검출기를 통해 2 차 전자 및 후방 산란 전자의 신호를 얻는 과정이다. 샘플이 비전 도성이거나 전도성이 좋지 않은 경우, 적시에 안내 할 수없는 샘플 표면에 과도한 전자 또는 자유 입자가 축적됩니다. 어느 정도 후에 반복 충전 및 배출 현상이 발생하여 궁극적으로 전자 신호의 전송에 영향을 미쳐 이미지 왜곡, 변형, 흔들림 및 기타 현상을 유발합니다. 금 분무 후, 샘플 표면의 전도도가 향상되어 축적 현상을 피할 수있다.
10. 스프레이 금은 샘플의 형태에 영향을 미칩니 까?
샘플의 표면에 금을 뿌린 후, 몇 ~ 12 개의 금 원자 층 만 표면에 덮여 있으며, 몇 나노 미터에서 수십 나노 미터의 두께는 형태에 거의 영향을 미치지 않습니다.
11. 자기 분말을 민자화하는 방법은 무엇입니까?
자성 분말은 기존의 분말 샘플의 제조에 따라 탈 자지화없이 Zeiss 필드 방출 전자 현미경을 사용하여 제조 할 수 있습니다. 외부 자기장을 가열하거나 적용하여 일부 블록 모양의 강력한 자기 재료를 탈 자연화 할 수 있다면 시장에 특수한 탈기자가 있습니다.
12. 자기 입자는 일반적으로 전달 전자 현미경을 겪지 않는 이유는 무엇입니까?
자기 재료를 만들 때 샘플을 전용지지 필름에 떨어 뜨려야하기 때문에, 자기 재료는 렌즈에 끌어 당겨 TEM 해상도에 영향을 미치고 전자 현미경을 오염시킬 수 있습니다.
13. 왜 다른 기기가 같은 샘플에 다른 효과를 생성합니까?
카메라 매개 변수가 유사하게 설정되면 효과가 크게 다르지 않습니다. 촬영 중 매개 변수 설정 (프로브, 전압, 빔 전류 등)이 다르고 촬영 결과에 따라 매개 변수의 특정 영향을 분석해야합니다.
14. 금, 백금 및 탄소를 분무하기위한 특정 응용 시나리오는 무엇입니까?
AU 및 PT와 같은 금속 표적은 전도도를 증가시키고, 2 차 전자 및 후방 산란 전자의 생성을 증가시키고, 신호 대 잡음비가 양호하며, 고품질 이미지를 얻기 위해 전자 빔 침투를 감소시킬 수 있습니다. C EDS, EBSD, WDS 및 기타 구성 요소의 분석에 적합한 대상 재료.
15. SEM 사진을 찍을 때. 비전도 또는 전도성이 낮은 샘플에 금 또는 탄소를 분사하는 이유는 무엇입니까?
주사 전자 현미경으로 관찰 될 때, 입사 전자 빔이 샘플에 부딪히면, 샘플 표면에서 전하 축적이 발생하여 이미지의 관찰 및 사진 기록에 영향을 미치는 충전 및 배출 효과를 형성한다. 따라서, 관찰하기 전에, 샘플의 표면을 전도성으로 만들기 위해 금 또는 탄소 스프레이와 같은 전도성 처리를 수행해야한다.
16. 샘플에는 탄소 요소가 포함되어 있지 않지만 결과는 70%보다 높은 함량을 보여줍니다. 이는 실제 상황에서 너무 많이 벗어납니다. 처리하는 방법?
에너지 스펙트럼은 원자가가 11 미만인 원소에 둔감하며 탄소, 질소 및 산소의 오류가 일반적입니다. 또한, 탄소 오염은 전도성 접착제, 샘플과 손 사이의 접촉, DP 펌프, 공기 먼지 등과 같은 광범위한 소스에서 비롯됩니다. 에너지 스펙트럼 분석을 위해 탄소, 질소 및 산소와 같은 광 원소의 부적합성에 특별한주의를 기울여야합니다. 또한 매핑 테스트가 필요한 경우 샘플과 구별 할 수없는 샘플 이외의 배경에 명백한 탄소, 질소 및 산소가있을 수 있으며, 매핑은 탄소, 질소 및 산소와 같은 경 요소에 특별한주의를 기울입니다. 내용이 실제 값보다 높으면 인위적으로 줄일 수 있습니다.
17. 형태 촬영의 불분명 한 결과의 이유
샘플의 전도성이 좋지 않으면 불분명 한 촬영 결과가 불분명합니다. 촬영 요구 사항이 너무 높으며 기기 자체가 충족 할 수 없습니다. 초점 또는 난시성은 제대로 조정되지 않으며 일반적으로 드물다. 장치 구성 및 설치 환경과도 관련이 있습니다.
18. 일부 샘플의 SEM 이미지에서, 명백한 전자 빔 검은 반점을 볼 수있다. 인터페이스에서 전자 빔 스팟을 제거하는 방법은 무엇입니까?
전자 빔 검은 반점은 샘플이 비교적 더럽고 탄소가 축적되었음을 나타낼 수 있습니다. 스토리지 환경에주의를 기울이거나 준비된 샘플에서 적시에 테스트하는 것이 좋습니다.
19. 기질에 필름 층을 보여주는 형태를 취하는 에탄올 분산 샘플의 이유는 무엇입니까?
필름과 비슷한 모습의 이유는 에탄올의 분산에 이어 금 스프레이가 이어 졌기 때문입니다.
20. 전송 전자 현미경이 색상이없는 이유는 무엇입니까?
색상은 빛의 색, 즉 전자기파의 주파수에 의해 결정됩니다. 전자 현미경의 빛은 자연광이 아니라 전자 빔 광원이므로 화려한 색상을 표시 할 수 없습니다. 투과 전자 현미경은 광학 현미경에서 명확하게 볼 수없는 0.2UM보다 작은 미세 구조를 나타낼 수 있으며, 이는 서브 미세한 구조 또는 초경 구조라고합니다. 이러한 구조를 명확하게 보려면 현미경의 해상도를 향상시키기 위해 파장이 짧은 광원을 선택해야합니다. 1932 년, Ruska는 전자 빔을 가로 잡은 전자 전자 현미경을 광원으로 발명했습니다. 전자 빔의 파장은 가시 광선과 자외선의 파장보다 훨씬 짧고 전자 빔의 파도는 다음과 같습니다.
길이는 방출 된 전자 빔의 전압의 제곱근에 반비례하며, 이는 전압이 높을수록 파장이 짧다는 것을 의미합니다. 현재, TEM의 해상도는 0.2nm에 도달 할 수 있으며 전자 현미경으로 얻은 이미지는 색상 정보가없는 전자 수 (즉, 밝기)를 반영하는 "그레이 스케일 이미지"입니다.
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